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LAM刻蚀机853-801876-015控制器

发布:2022-07-13 15:26,更新:2022-07-13 15:26

进口全新LAM泛林/科林研发刻蚀机控制器853-801876-014、853-801876-015供应

刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

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